[发明专利]含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200310121062.X | 申请日： | 2003-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1632167A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 杨生荣;徐洮;阎兴斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法。该方法配制含有聚碳苯－氯金酸的四氢呋喃先驱体溶液，然后通过旋涂的方法将混合溶液涂附于单晶硅表面，待有机溶剂挥发后，硅表面就形成了氯金酸－聚碳苯薄膜；将涂有薄膜的硅片在氩气保护下在500－700℃温度处理1～2小时，然后自然降至室温，得到含金纳米颗粒的类金刚石碳薄膜。本发明的特点是制备过程简便，一步合成含金属纳米颗粒的类金刚石复合薄膜。该薄膜有望在机械摩擦、电化学电极、金属催化、光学等领域使用。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 颗粒 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种含纳米金颗粒的类金刚石碳薄膜的制备方法，其特征在于该方法配制含有聚碳苯-氯金酸的四氢呋喃先驱体溶液，其中聚碳苯的摩尔浓度为0.01-0.1mol/L，氯金酸为摩尔浓度为0.002-0.02mol/L，然后通过旋涂的方法将混合溶液涂附于单晶硅表面，待有机溶剂挥发后，硅表面就形成了氯金酸-聚碳苯薄膜；将涂有薄膜的硅片在氩气保护下在500-700℃温度处理1～2小时，然后自然降至室温，得到含金纳米颗粒的类金刚石碳薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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