[发明专利]一种用于低能离子束材料制备方法的离子源装置

摘要

本发明涉及离子束技术，是一种可在低能离子束材料制备方法中应用的离子源装置，包括弧室体和坩埚两部分，每部分配有辅助加热装置。弧室体与坩埚成一体且前后分离，之间有排进气孔连通；弧室体内装有上下双螺旋状灯丝，增大了弧室热功率和发射的电子密度，灯丝位于上下两端，减小了离子直接溅射，灯丝后有反射板；坩埚为立式，内筒有两种，反应器型可盛装与工作气体反应的固体源材料，工作气体自上而下通过源材料并与之充分反应，蒸发器型可盛装能蒸发出材料气氛的源材料，可调整辅助加热及灯丝电流来控制源的工作温度。本发明结构简单实用，工作性能稳定、束流品质好、离化效率高、源材料选择范围广、产生离子种类多。可用于其他离子束相关技术。

主权项

1.一种用于低能离子束材料制备方法的离子源装置，包括弧室体与坩埚两部分，每部分配有辅助加热装置，其特征是：弧室体与坩埚成一体且前后分离，弧室体与坩埚之间有排进气孔连通；弧室体内上下两端装有两根螺旋状灯丝，灯丝后有反射板，弧室体前壁的前盖板上有离子引出狭缝；坩埚采用立式，由外壁、内筒和测温热偶构成，外壁与内筒间有空腔，与弧室体相连通的一排进气孔在外壁前侧面。