[发明专利]液晶显示器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200310121211.2 | 申请日： | 2003-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN1512222A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 林柄昊 | 申请（专利权）人： | LG.飞利浦LCD有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133;G02F1/136;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种制造液晶显示器件的方法，包括：利用第一掩模工艺在基板上形成栅极、选通汇流线和选通焊盘；在基板的整个表面上形成栅极绝缘层和有源层；在基板的整个表面上形成第一有机材料膜；除去部分第一有机材料膜，以暴露选通焊盘的第一部分；在基板的整个表面上淀积透明膜；利用第二半色调掩模对透明膜进行构图，以形成数据汇流线、源极、漏极、像素电极、沟道层、和欧姆接触层；利用第三掩模暴露部分数据焊盘和部分数据汇流线；在基板的整个表面上形成第二有机材料膜；在数据汇流线上淀积低电阻材料；在基板上涂覆钝化膜；利用移去工艺除去第二有机材料膜，以暴露选通焊盘的第二部分和数据焊盘的第一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造液晶显示器件的方法，包括步骤：利用第一掩模工艺在基板上形成栅极、选通汇流线和选通焊盘；在基板的整个表面上形成栅极绝缘层和有源层；在基板的整个表面上形成第一有机材料膜；除去部分第一有机材料膜以暴露选通焊盘的第一部分；在基板的整个表面上淀积透明膜；利用第二半色调掩模对透明膜进行构图，以形成数据汇流线、源极、漏极、像素电极、沟道层、和欧姆接触层；利用第三掩模暴露部分数据焊盘和部分数据汇流线；在基板的整个表面上形成第二有机材料膜；在数据汇流线上淀积低电阻材料；在基板上涂覆钝化膜；利用移去工艺除去第二有机材料膜，以暴露选通焊盘的第二部分和数据焊盘的第一部分。
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