[发明专利]表面声波装置的频率调整方法及电子设备无效
| 申请号： | 200310121464.X | 申请日： | 2003-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1510833A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 押尾政宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明实现一种表面声波装置，能高精度调整频率而且使调整后的中心频率的随时间变化很小，并可以长期稳定动作。把形成于石英基板1上的IDT电极2的厚度h设定为只比目标厚度稍厚一些，使中心频率只比目标值稍低一些(S1)。其次，在IDT电极2上施加电压，开始中心频率的测定(S2)。此时，所测定的中心频率稍低于目标值。因此，一边确认测定频率，一边进行石英基板1的背面1b的蚀刻(S3)。于是，通过该蚀刻所测定的中心频率缓慢上升并接近目标值。进而，继续该蚀刻，直到中心频率变为目标值为止(S3、S4)，在其变为目标值时，停止蚀刻(S5)。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 装置 频率 调整 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种表面声波装置的频率调整方法，该表面声波装置具有石英基板和形成于该石英基板上并激振准纵波型漏表面声波的IDT电极，该频率调整方法的特征在于：通过从与所述IDT电极形成面相对的面调整所述石英基板的厚度，进行所述频率调整。
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