[发明专利]微小角位移的光波导测量装置及方法无效
| 申请号： | 200310122788.5 | 申请日： | 2003-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN1554933A | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | 陈凡;曹庄琪;沈启舜;顾江华 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01B21/22 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微小角位移的光波导测量装置及方法。属于精密仪器和精密测量领域。本发明机械振子结构固定在光学旋转平台上，光电接受部分的激光器、偏振器、光学小孔固定在旋转平台外，它们保持等高共轴，光轴指向机械振子结构的中心，光电接受部分的光电探测器、激光器关于机械振子结构的中心轴对称，光电探测器固定在光学旋转平台上。方法如下：激光器发射激光入射到光学玻璃板，当满足耦合条件后，光进入机械振子结构的双面金属包覆波导中，利用反射光随空气层厚度的改变而变化极为敏感的特性，从光学玻璃板底面反射的光强随着光学玻璃板与摆锤的间距改变而变化，通过检测反射光强度的变化量，来测量摆锤相对光学玻璃板位置的改变，得到摆捶的角位移。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 位移 波导 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微小角位移的光波导测量装置，由光学旋转平台(1)、机械振子结构(2)、和光电接受部分(3)三部分组成，机械振子结构(2)固定在光学旋转平台(1)上，光学旋转平台(1)支撑整个机械振子结构(2)，其特征在于，光电接受部分(3)包括：激光器(4)、偏振器(5)、光学小孔(6)、光电探测器(7)，激光器(4)、偏振器(5)、光学小孔(6)固定在光学旋转平台(1)外，它们保持等高共轴，光轴指向机械振子结构(2)的中心，光电探测器(7)、激光器(4)关于机械振子结构(2)的中心轴对称，同时光电探测器(7)固定在光学旋转平台(1)上，光学旋转平台(1)在激光器(4)位置固定的情况下，匀速改变入射光相对与机械振子结构(2)的入射角，同时光电探测器(7)以两倍角速度反向旋转，使反射光落在光电探测器(7)上。
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