[发明专利]一种旋转式喷头流量调整装置有效
申请号: | 200310122845.X | 申请日: | 2003-12-26 |
公开(公告)号: | CN1634666A | 公开(公告)日: | 2005-07-06 |
发明(设计)人: | 吴汉明 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B05B1/30 | 分类号: | B05B1/30;B05B3/08 |
代理公司: | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 竺明;谢晋光 |
地址: | 201203上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种旋转式喷头流量调整装置,包括至少二圆盘体及数个相对的穿槽组,其中,所述的二圆盘体同轴迭设一起;相对的穿槽组分别形成于所述的圆盘体上,且将圆盘体装设于喷头上,所述的穿槽组连通于该喷头的出口,藉由旋转圆盘体以控制两圆盘体上的穿槽组连通面积大小,可控制流体经穿槽组而流出喷头的流量大小。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 喷头 流量 调整 装置 | ||
【主权项】:
1.一种旋转式喷头流量调整装置,其包括:至少二圆盘体,其同轴迭设一起;数个相对的穿槽组,其分别形成于所述的圆盘体上,且该圆盘体系组装于一喷头上,且该穿槽组连通于该喷头的出口,且该圆盘体相对旋转地控制相对穿槽组连通面积大小,以控制一流体通过连通该穿槽而流出该喷头的流量大小。
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