[发明专利]一种集成电路的电感有效
申请号: | 200310122886.9 | 申请日: | 2003-12-25 |
公开(公告)号: | CN1635586A | 公开(公告)日: | 2005-07-06 |
发明(设计)人: | 陈真 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01F17/00 | 分类号: | H01F17/00;H01L27/01;H01L27/00 |
代理公司: | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 竺明;谢晋光 |
地址: | 201203上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种集成电路的电感,其包含一基板、至少一N型量子深井、至少一P型量子井、至少一下信道、至少一第一金属线圈;其中,N型量子深井系位于该基板上方;P型量子井系位于该N型量子深井上方;下信道位于该P型量子井上方;第一金属线圈系位于该下信道上方,且该第一金属线圈可于邻近与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下信道连接。本发明的集成电路的电感具有较高的Q值,应用于0.25微米以下的线宽制程,此外,本发明技术提供的集成电路的电感更具有一N型量子深井,可有效延后自我共振频率使得该集成电路的电感具有较高频宽。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成电路 电感 | ||
【主权项】:
1.一种集成电路的电感,其包含:一基板;至少一N型量子深井,该N型量子深井系位于该基板上方;至少一P型量子井,该P型量子井系位于该N型量子深井上方;至少一下信道,其位于该P型量子井上方;以及至少一第一金属线圈,其系位于该下信道上方,且该第一金属线圈可于邻近与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下信道连接。
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