[发明专利]用于金属渗氮工艺氮势测量的单边式电容传感器无效
| 申请号： | 200310122905.8 | 申请日： | 2003-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1554941A | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | 刘涌;宋晨路;翁文剑;杜丕一;韩高荣 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明的用于金属渗氮工艺氮势测量的单边式电容传感器是采用将液位转化为电容值来表征氨气分解率的。它包括外表面包覆有导电层的圆筒形容器和探针，探针穿透容器壁插置在容器的下部，在探针与容器壁间设有绝缘层，容器的上部设有进气管和进水管，底部有排水管，在进气管、进水管和排水管上分别装置有阀门，导电层和探针分别接有电极引线。本发明的单边式电容传感器具有如下特点：(1)使用方便，测量准确，能够给出金属渗氮工艺过程中所要求精度的氨气分解率参数值；(2)容器的结构材料可以有多种选择，成本低廉，利于推广使用；(3)结构简单，便于加工和维护。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 工艺 测量 单边 电容 传感器 | ||
【主权项】：
1.用于金属渗氮工艺氮势测量的单边式电容传感器，其特征是包括外表面包覆有导电层(2)的圆筒形容器(1)和探针(3)，探针(3)穿透容器壁插置在容器的下部，在探针与容器壁间设有绝缘层，容器(1)的上部设有进气管(4)和进水管(5)，底部有排水管(6)，在进气管(4))、进水管(5)和排水管(6)上分别装置有阀门(7、8、9)，导电层(2)和探针(3)分别接有电极引线。
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