[发明专利]铝金属的化学机械研磨方法有效
| 申请号： | 200310122916.6 | 申请日： | 2003-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1634680A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 俞昌;杨春晓 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 竺明;谢晋光 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铝金属的化学机械研磨方法，该方法包括如下步骤：形成铝金属图案于一底材之上；再形成一氧化物绝缘层于该铝金属图案之上；以化学机械研磨法矸磨该绝缘至该金属表面，该化学机械研磨法所采用的研磨剂包含一易吸附于铝材质的表面活性剂；及去除该铝金属图案上的该表面活性剂。其中该表面活性剂使得该金属图案与该绝缘的研磨速率之比至少约为1/100。该化学机械研磨法所采用的研磨剂包含一易吸附于铝金属上的表面活性剂：在研磨过程中使该表面活性剂吸附于该铝金属表面以降低该铝金属的研磨速率且可作为一研磨停止机制。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 化学 机械 研磨 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属的化学机械研磨方法，该方法包括：形成金属图案于一底材之上；形成一绝缘层于所述金属图案之上；以化学机械研磨法研磨该绝缘至该金属表面，该化学机械研磨法所采用的研磨剂包含一易吸附于该金属上的表面活性剂；及去除该金属图案上的该表面活性剂。
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