[发明专利]掩模盒和传送盒内的光刻掩模以及扫描盒内的掩模的方法有效
| 申请号： | 200310123553.8 | 申请日： | 2003-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1512273A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | G·－J·希伦斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;章社杲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种盒，它能把掩模(MA)封闭起来。该盒(70)对于至少一个预定波长的辐射至少是部分透明的，而且是按这样的方式构成，使得可以利用该波长的光从掩模(MA)的盒(70)的外面得到象。盒(70)的透明部分可由下列材料中的至少一种制成：玻璃、有机玻璃。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模盒 传送 光刻 以及 扫描 方法 | ||
【主权项】：
1.一种盒，它能封闭掩模(MA)，其特征在于：该盒(70)对于至少一个预定波长至少是部分透明的，它是被按这样的方式构成的，使得可以利用所述波长的光从掩模(MA)的盒(70)外面得到象。
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