[发明专利]形成波导的方法及由此形成的波导无效
| 申请号： | 200310124924.4 | 申请日： | 2003-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1523382A | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | J·G·谢尔纳特;M·L·莫伊尼汉;O·帕特森 | 申请（专利权）人： | 希普雷公司 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/30;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供形成光波导的方法。该方法包括：(a)在衬底上形成一层可光限定组合物；(b)将一部分可光限定组合物层在光化辐射下曝光；(c)将已曝光的层显影，形成波导芯结构；以及(d)将波导芯结构加热到一定温度，并持续一段能使所述结构有效地再流平的时间，从而使波导芯结构的横截面至少部分地变成圆形。并且本发明也提供由所述方法形成的光波导，以及包括一个或多个这样光波导的电子器件。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 波导 方法 由此 | ||
【主权项】：
1.一种形成光波导的方法，包括：(a)在衬底上形成一层可光限定组合物；(b)将一部分可光限定组合物层在光化辐射下曝光；(c)将已曝光的层显影，形成波导芯结构；以及(d)将波导芯结构加热到一定温度，并持续一段能使所述结构有效地再流平的时间，从而使波导芯结构的横截面至少部分地变成圆形。
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