[实用新型]扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置无效
| 申请号： | 200320100222.8 | 申请日： | 2003-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN2751297Y | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 顾长志;窦艳;郭烈阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置，包括一个或多个原位电学特性分测量器、电子源、电学性质测试仪器和内装加热器的样品台；所述多个原位电学特性分测器以样品台为中心环绕样品台均匀分布，其结构分别为：一钨探针固定在金属测量杆的一端，金属测量杆另一端套装绝缘套并与三维调节杆相连，一测量导线一端与金属测量杆相连，另一端套装导线绝缘套并穿过真空室与电学性质测试仪器电连接；电子源位于样品台的正上方，之间设置有电磁透镜；可实现对扫描电镜所观察到的微区范围进行直接的电学性质的多功能测试，具有性能可靠，接触良好的、安装简便、结构简单和使用安全的特点，拓展了扫描电镜的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 使用 探针 原位 电学 特性 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种扫描电子显微镜上使用的探针原位电学特性测量装置，其特征在于，该探针原位电学特性测量装置包括一个或多个原位电学特性分测量器、电子源(12)、电学性质测试仪器(15)和内装加热器(9)的样品台(8)；所述原位电学特性分测器的结构为：一钨探针(1)固定在金属测量杆(3)的一端，金属测量杆(3)另一端套装绝缘套(4)并与三维调节杆(5)相连，一测量导线(6)一端与金属测量杆(3)相连，另一端套装导线绝缘套(7)并穿过真空室(11)与电学性质测试仪器(15)电连接；电子源(12)位于样品台(8)的正上方，之间设置有电磁透镜(13)。
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