[实用新型]带容性传感器的用于扫描隧道显微镜的步进电机无效
| 申请号： | 200320103120.1 | 申请日： | 2003-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN2666026Y | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 梁学锦;陈东敏;薛其坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H02K37/00 | 分类号： | H02K37/00;H02K37/24;G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带容性传感器的用于扫描隧道显微镜的步进电机。该步进电机包括一底座以及一移动块，该移动块可相对于底座移动。该步进电机还包括一容性定位传感器，该传感器为至少一个平板型电容器，该至少一个的平板型电容器的第一极板位于步进电机的底座的上表面，该电容器的第二极板位于步进电机的移动块的下表面。采用本实用新型的步进电机可通过测量容性定位传感器的电容值来测量电机的位移量，并在几毫米的范围内达到纳米尺度的精确定位。另外本实用新型的步进电机还可以用于薄膜生长，可控地在纳米尺度移动物体等诸多方面。同时它还具有结构紧凑、适于在低温下工作的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 带容性 传感器 用于 扫描 隧道 显微镜 步进 电机 | ||
【主权项】：
1、一种带容性传感器的用于扫描隧道显微镜的步进电机，所述步进电机包括一底座以及一移动块，该移动块可相对于底座移动，其特征在于，所述步进电机还包括一容性定位传感器，该传感器为至少一个平板型电容器，所述至少一个的平板型电容器的第一极板位于步进电机的底座的上表面，该电容器的第二极板位于步进电机的移动块的下表面。
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