[实用新型]一种微电子机械系统自组装结构无效
| 申请号： | 200320104266.8 | 申请日： | 2003-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN2672029Y | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张建刚;夏善红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及微电子机械系统(MEMS)技术领域，特别涉及微电子机械系统的集成装配。本实用新型是一种以普通玻璃为衬底的微电子机械系统自组装结构，具有装配批量大、精度高的特点，可以广泛应用于微电子机械系统器件的集成，特别是用于生化微电子机械系统(MEMS)器件的集成与装配。当前，在生化微电子机械系统(MEMS)器件中常常应用玻璃等材料，因此本实用新型使用空间非常广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 机械 系统 组装 结构 | ||
【主权项】：
1.一种微电子机械系统自组装结构，由衬底、微元件、固化润滑脂组成，其特征在于，衬底是玻璃，衬底上有欲装位置，在欲装位置上面有自组装单分子膜，在微元件下面有自组装单分子膜，欲装位置与固化润滑脂形状相对齐。
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