[实用新型]化学液相沉积装置

摘要

本实用新型涉及化学液相沉积装置。包括炉体、与炉体顶端连接的真空系统、与炉体上部交错式排列的冷凝器、冷却水进水管和出水管相连接的水循环系统、及炉体下部液体的补给系统、和炉体底部底座上放置的被加热制品、及中心置有发热体，制品外围设有感应器，感应器与变频电源连接的电系统。生产效率高，沉积速度快，成本低，消耗能源少，环保性好，化学裂解后，化合物可以回收再利用，不直接排放到大气中去。提高效率几十倍以上。具有较好的社会和经济效益。广泛用于碳/碳、碳/陶等复合材料的致密化处理工艺。

主权项

1、一种化学液相沉积装置，包括炉体(3)，其特征在于所说的本炉体(3)是双层结构，内外层之间可注入冷水或气体，炉体(3)左面的真空系统(1)与炉体(3)的顶端连接，炉体(3)的上部分别连接有交错式排列的冷凝器(12)、冷却水进水管(13)和出水管(14)，炉体(3)的中部设有引电引出法兰(9)，炉体(3)的底部设置底座(10)，底座(10)上放置被加热制品(5)，被加热制品(5)的中心置有发热体(4)，被加热制品(5)的外围设有感应器(6)，感应器(6)与变频电源(8)连接，在炉体(3)的下部内置有含碳元素低分子化合物液体(11)，它通过管路接入液体补给器(2)，水箱(7)通过管路与炉体(3)上部的交错式排列的冷凝器(12)、冷却水进水管(13)和出水管(14)分别连接进行水循环。