[实用新型]碳纳米管薄膜气体传感器

摘要

本实用新型公开了一种碳纳米管薄膜气体传感器，包括一由玻璃或半导体材料或和金属制备的基底以及外部引线；其特点是，在基底上设置一层二氧化硅绝缘层，在二氧化硅绝缘层中分布有叉指型电极，叉指型电极被二氧化硅绝缘层分隔，并且使叉指型电极上面被二氧化硅绝缘层覆盖；在最上边设置有一层由多壁碳纳米管和二氧化硅混合的复合薄膜层。由于本实用新型采用在叉指型电容电极上移植多壁碳纳米管－二氧化硅(SiO₂和MWNTS)复合薄膜，作为气敏元的吸附式叉指电容型碳纳米管薄膜气体传感器。具有结构简单、工作可靠、使用寿命长、制备工艺简单、敏感性好等优点。可以广泛用于甲烷，一氧化碳，氢气，乙炔等气体的测试。

主权项

1.一种碳纳米管薄膜气体传感器，包括一玻璃或半导体材料或金属的基底(1)及外部引线；其特征在于，在基底(1)上印刷有叉指型电极(4)，并在叉指型电极(4)上覆盖有二氧化硅绝缘层(2)，在二氧化硅绝缘层(2)上有一层多壁碳纳米管和二氧化硅混合的复合薄膜层(3)。