[实用新型]内层透明电弧石英坩埚熔制机

摘要

本实用新型涉及一种里层为透明层，外层为半透明层的内层透明电弧石英坩埚熔制机，属采用真空电弧离心法生产半导体用石英坩埚的熔制设备领域。它由“三高”石墨电极、石墨模、水冷套、多孔石墨底座、不锈钢座、倾动台、电机、带轮、旋转轴及真空管道组成。它是采用将高纯石英粉在真空状态下熔制，使气泡往外排出，使得熔制的石英玻璃气泡少而呈透明。解决了目前国内含有气泡的不透明石英坩埚，由于气泡内含有CO₂、H₂、O₂、N₂、CH₄、H₂O等气体，拉制出的单晶硅质量达不到标准的要求，且不能拉制出大规模集成电路用单晶硅的问题，且结构简单，生产的坩埚产品内层为透明层，使得拉制单晶硅时减少了单晶硅中的氧含量及微缺陷。适用于各种硅片及彩色荧光粉等的生产使用。

主权项

1.一种内层透明电弧石英坩埚熔制机，它由“三高”石墨电极、石墨模、水冷套、多孔石墨底座、不锈钢座、倾动台、电机、带轮I、旋转轴、带轮II及真空管道组成，倾动台的下部装有一电机，电机通过带轮I及带轮II连接旋转轴，倾动台上方通过法兰固定有一不锈钢座，不锈钢座上装有一多孔石墨底座，多孔石墨底座上装有一石墨模；多孔石墨底座与石墨模组合后内部形成一个与石英坩埚外形一致的内腔，内腔的上方装有“三高”石墨电极；其特征在于：多孔石墨底座与石墨模的组合体外部装有冷水套；旋转轴上装有一穿过其中心孔并与不锈钢座相通的真空管道；多孔石墨底座体内制有微气孔。