[实用新型]射频电源导入装置

摘要

本实用新型属于一种新型的电流导入装置，应用于管式PECVD设备。按照本实用新型所提供的设计方案，在石英管腔体的端部有石英管密封部，在石英管腔体内有可以移动的石墨舟，石墨舟的端部有电极引入端，在石英管密封部的下面连接波纹管，波纹管的上面连接可以伸入石英管密封部内的电流导入端子，波纹管的下面与汽缸的活塞杆连接。本装置具有高稳定性，高安全性，更具有可操作性，能适合批量生产的需要，能降低由于缺乏稳定性而生产不合格产品的概率，从而提高了生产效率。

主权项

1、射频电源导入装置，其特征是：在石英管腔体(10)的端部有石英管密封部(8)，在石英管腔体(10)内有可以移动的石墨舟(9)，石墨舟(9)的端部有电极引入端(7)，在石英管密封部(8)的下面连接波纹管(3)，波纹管(3)的上面连接可以伸入石英管密封部(8)内的电流导入端子(6)，波纹管(3)的下面与汽缸(1)的活塞杆连接。