[实用新型]一种驱动电压通路与射频信号隔离的微机电系统开关

摘要

一种驱动电压通路与射频信号隔离的微机电系统开关，其悬臂梁(11)悬空部分绝缘介质层(7)端部上的触点正好位于与驱动电压通路相隔离的射频输入与射频输出传输线(3)、(3′)之间缝隙的上方。在驱动电压的作用下，悬臂梁(11)悬空部分上下动作，其上触点与下方的射频输出、输入传输线(3)、(3′)处于不接触或接触的状态，即RFMEMS开关处于关态或开态的状态。

主权项

1.一种驱动电压通路与射频信号隔离的微机电系统开关，其特征是在衬底(1)上覆盖着一薄层绝缘介质层(2)，在绝缘介质层(2)上有一射频输入传输线(3)、一射频输出传输线(3′)、一地线(4)、一上控制电极延伸区(14)、一下控制电极(9)、两条电气连接金属线(15)以及一上控制电极压焊盘(12)和一下控制电极压焊盘(13)；在射频输入传输线(3)和射频输出传输线(3′)之间有一缝隙，下控制电极(9)与下控制电极压焊盘(13)之间由电气连接金属线(15)相连，且下控制电极(9)上表面有绝缘介质层(10)，上控制电极延伸区(14)与上控制电极压焊盘(12)之间由电气连接金属线(15)相连；在上控制电极延伸区(14)上制作有用于架设悬臂梁(11)的突起的导电的锚区(5)，悬臂梁(11)由上面的金属层和下面的绝缘介质层(7)组成，并一端固定于锚顶部，悬臂梁(11)上面的金属层即是上控制电极(8)，它通过锚区(5)与上控制电极延伸区(14)电气相连，悬臂梁(11)的悬空部分绝缘介质层(7)的端部上有一小突起金属触点(6)，并正好位于射频输入传输线(3)与射频输出传输线(3′)之间缝隙的上方。