[实用新型]光学研磨机

摘要

本实用新型属于光学元件表面加工技术领域，涉及光学研磨机及用其加工半导体用蓝宝石晶体基片的方法。研磨机包括机架，工作台面板，一水盆，电机及其带动的一垂直转动轴，该转动轴顶部安装一下磨盘，上磨盘的支撑施压机构，以及置于下磨盘上的上磨盘，以及冷却液输送装置；下磨盘由底盘、设置在底盘上的内齿圈、外齿太阳轮和多块游星板组成。本实用新型具有加工效率高、加工成本低，加工精度高的特点，可满足半导体用光学蓝宝石晶体基片的加工要求并有利于产业化。

主权项

1、一种光学研磨机，主要包括机架，机架上安装一工作台面板，工作台上安装一水盆，机架内安装有电机及其带动的一垂直转动轴，该转动轴从水盆底部穿出，其顶部安装一下磨盘，工作台上安装有上磨盘的支撑施压机构，以及与支撑施压机构相连且置于下磨盘上的上磨盘，以及冷却液输送装置；其特征在于，所说的下磨盘由底盘、设置在底盘外缘周的内齿圈和设置在底盘圆心的外齿太阳轮，一块以上的游星板组成，该游星板外缘带有外齿，每块游星板同时分别与其它游星板及外缘周的内齿圈和外齿太阳轮相互啮合；所说的内齿圈、外齿太阳轮和游星板的高度均与加工件的最终厚度相同或略小；每块游星板开有一个以上与加工件外径相应的通孔，使加工件恰好置于其中。