[实用新型]配屏幕电弧的多功能离子镀膜装置无效
| 申请号： | 200320127771.4 | 申请日： | 2003-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN2700341Y | 公开（公告）日： | 2005-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;徐健;金佑民;刘齐成 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及配屏幕电弧的多功能离子镀膜装置，安装在靶后的磁场强度大、小可调整，磁场强时按磁控溅射模式运行，磁场弱时按多弧模式运行。在矩形靶的前面，配置了覆盖整个矩形靶面面积的屏幕电弧，特别针对磁控溅射模式时，显著提高靶面附近的离化率。由于靶面积较大，沿矩形靶长边和短边作“跑道”形弧斑运动或起辉，产生的靶材离子在负偏压的作用下，按离子镀的定义沉积在工件上。 | ||
| 搜索关键词： | 屏幕 电弧 多功能 离子 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种配屏幕电弧的多功能离子镀膜装置，其特征是沿圆筒形真空室壁的母线上装有一个或一个以上的矩形靶，靶的磁场有三种结构，一种是用电磁线圈产生可调节的磁场结构，另一种是用永久磁铁产生的永久磁场结构，第三种是采用电磁线圈与永久磁铁相互配合的结构；强磁场结构构成磁控溅射装置，弱磁场结构构成多弧装置，在矩形靶前配置线形阴极灯丝及线形阳极，此结构产生类似屏幕状的电弧，覆盖矩形靶的整个面积。
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