[实用新型]具有多个环状弧斑的任意形平面靶的蒸发离化源无效
| 申请号： | 200320129830.1 | 申请日： | 2003-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN2700340Y | 公开（公告）日： | 2005-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;徐健;李建农;金佑民;冯保会;王琦 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有多个环状弧斑的任意形平面靶的蒸发离化源，其特点在于可设计成大面积平面靶，靶上环状弧斑的环状直径和分布，可由安装在靶后的永久条状磁铁的长度和分布决定。平面靶可设计成任意形状，如圆形、正方形、矩形、多边形等，作为阴极的靶，沿周边分散、多点接入弧电源的负极端，各个负极端相互并联引自弧电源负极，环状弧斑呈现无规、随机、自由运动，以多概率“烧蚀”靶材，使靶材充分离化，合理利用。如果不分散接入，会造成环状弧斑集中偏于一方，造成“烧蚀”严重不均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 环状 任意 平面 蒸发 离化源 | ||
【主权项】：
1.一种具有多个环状弧斑的任意形平面靶的蒸发离化源，其特征是靶上具有两个或两个以上的环状弧斑轨迹充满靶面，靶后配置多个条状永久磁铁，磁条的N极面接近而平行靶面，则S极稍远离靶面且平行于靶面，也可将磁条的S极接近而平行靶面，则N极稍远离靶面且平行于靶面；任意形状的大面积平面靶，在靶的相互垂直二个方向上，最大尺寸可以从1/1-7/1以上均可；在相互垂直的方向上，可设置多种磁场结构配置，多点分散接入弧电源负极，各个负极端相互并联。
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