[实用新型]双磁辅助式管状工件内表面改性装置无效
| 申请号： | 200320130380.8 | 申请日： | 2003-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN2670377Y | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 杨思泽;张谷令;王久丽;刘元富 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种提高管状工件内部的气体离化率，将管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极由内至外同轴布置在该管状工件内，该两电极与射频电源接通，在管状电极和管状工件间连接一负高压电源，还包括一个使管状工件和管状电极产生相对转动的驱动装置；所述管状电极由分布在圆筒状支撑件外表面上的电极丝构成，该电极丝呈周向均匀分布，或呈螺旋式分布；所述柱状电极为中空管，管中放置磁铁；所述的管状电极为连通的中空的金属管。所述磁铁呈环状，磁铁与磁铁之间同极相对地沿轴向均匀布置。本实用新型通过在柱状电极中放置磁铁加强等离子体对中心电极材料的溅射，提高管状工件内表面加工的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 管状 工件 表面 改性 装置 | ||
【主权项】：
1、一种双磁辅助式管状工件内表面改性装置，将管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极由内至外同轴布置在该管状工件内，该两电极与射频电源接通，在管状电极和管状工件间连接一负高压电源，其特征在于：还包括一个使管状工件和管状电极产生相对转动的驱动装置；所述管状电极由分布在圆筒状支撑件外表面上的电极丝构成，该电极丝呈周向均匀分布，或呈螺旋式分布；所述的柱状电极为中空管，其中放置环状磁铁，磁铁与磁铁之间同极相对地沿轴向均匀布置；所述的管状工件的外壁缠绕一线圈，该线圈的两端连接一直流电源。
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