[实用新型]多对靶薄膜溅射仪

摘要

本实用新型公开了一种多对靶薄膜溅射仪，在溅射真空室内设置有至少三对靶及靶头，所述各对靶之间设置有非磁性金属隔离板，所述溅射真空室的上盖或下盖与所述各靶头连接处设置有波纹管，所述溅射真空室内设置有基板架，所述基板架上设置有基板，所述基板架的外围设置有与基板架同心的带有侧孔的套筒，所述溅射真空室的上端盖上设置有真空室的开启机构。所述基板架与第一电机连接，所述套筒与第二电机连接，所述第一电机、第二电机分别与微控制器连接。所述每对靶头之间设置有间距调节装置。所述基板架为多面体。使用本实用新型的装置，能在线制备各种材质的单层膜或多层膜，成膜速度快、均匀性好，厚度可控，而且制膜简单方便。

主权项

1.一种多对靶薄膜溅射仪，在溅射真空室内设置有至少三对靶及靶头，所述各对靶之间设置有非磁性金属隔离板，其特征是，所述溅射真空室的上盖或下盖与所述各靶头连接处设置有波纹管，所述溅射真空室内设置有基板架，所述基板架上设置有基板，所述基板架的外围设置有与基板架同心的带有侧孔的套筒，所述溅射真空室的上端盖上设置有真空室的开启机构。