[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

摘要

本发明涉及适合于对基板进行镀敷处理或者把基板浸入到处理液中进行处理的基板处理装置。本发明的基板处理装置(1)，具有：放入和取出基板(W)用的装卸区(100)、用于清洗基板的清洗区(200)、及进行基板镀敷处理的镀敷处理区(300)，在上述装卸区(100)内布置了：具有干式的多个手(137、139)的基板传送机械手(130)、安放基板收纳架的装料口(110)、以及把基板从正面朝上切换到正面朝下的干式翻转机(150)。

主权项

1、一种基板处理装置，其特征在于，具有进行放入取出基板的装卸区、用于清洗基板的清洗区、及进行基板镀敷处理的镀敷处理区，在上述装卸区，布置了具有干式的多个手的基板传送机械手、安放基板收纳架的装料口、以及把基板从正面朝上切换到正面朝下的干式翻转机。