[发明专利]流体处理装置及流体处理方法无效
| 申请号： | 200380100227.3 | 申请日： | 2003-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1708739A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | 河西繁;石桥诚之;山本薰;田中澄;柳谷健一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 该处理装置具有：具有载置被处理体W的载置台(8)的处理容器(4)；导入处理气体的气体导入装置(10)；供给规定处理气体的处理气体供给系统(14、16、18)；供给非活性气体的非活性气体供给系统(12)；设置阀开度可以控制的压力控制阀(36)与真空泵(38)的真空排气系统(32)；压力计(48)。在进行处理气体的分压重要的处理时，流出固定流量的处理气体，同时根据压力计(48)的检测值控制压力控制阀(36)的阀开度，而在进行处理气体的分压不太重要的处理时，使压力控制阀(36)的阀开度固定为规定值，同时根据压力计(48)的检测值控制非活性气体的供给量。因此，在进行处理压力的范围差异较大的多种处理时，也可以准确地对各个处理时的压力进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种处理装置，其特征在于，具有以下部件：内部具有载置被处理体的载置台的处理容器；把处理气体导入所述处理容器内的气体导入装置；与所述气体导入装置连接，在其中间设置流量控制部，以供给规定的处理气体的处理气体供给系统；与所述气体导入装置连接，中间设置流量控制部，以供给非活性气体的非活性气体供给系统；与所述处理容器连接，在中间设置有阀开度可以设定的压力控制阀与真空泵的真空排气系统；设置在所述处理容器内的压力计；以及控制装置，在进行处理气体的分压重要的处理时，该控制装置向所述处理气体供给系统的流量控制部发出流出一定流量的指令，同时根据所述压力计的检测值来控制所述压力控制阀的阀开度，而在进行处理气体的分压不太重要的处理时，该控制装置使所述压力控制阀的阀开度固定在规定值，同时根据所述压力计的检测值，通过所述非活性气体供给系统的流量控制部来控制流量。
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