[发明专利]喷墨头的制造方法及喷墨式记录装置无效
| 申请号： | 200380100424.5 | 申请日： | 2003-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1692020A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 平泽拓;村田晶子;藤井映志;鸟井秀雄;中川彻 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 首先，在硅基板(1)的一侧面上按第1电极层(4)、压电体层(5)、第2电极层(6)及振动层(7)的顺序沉积而成。接下来，在振动层(7)上沉积墨室间壁(8)和喷头板(11)。再下来，从第1电极层(4)的背面研削硅基板(1)到所规定的厚度为止，之后，进行干蚀刻除去残余的硅基板(13)。其后，制图第1电极层(4)形成复数个喷墨机构(2、2、…)。最后，分隔复数个喷墨机构(2、2、…)同时制作复数个喷墨头(3、3、…)。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨 制造 方法 喷墨式 记录 装置 | ||
【主权项】：
1.一种喷墨头的制造方法，是包括：各自具有第1电极层、压电体层、第2电极层及振动层的，且对复数个墨室内的墨汁各自施加压力并从与该各墨室各自连通的复数个喷头将墨汁喷向记录媒体的复数个压电元件的喷墨头的制造方法，其特征为：包括：在衬底的一侧面上按顺序形成第1电极层、压电体层、第2电极层及振动层的工序；在上述振动层上形成相互隔离的复数个墨室的墨室间壁的工序；在上述墨室间壁上形成制成了复数个喷头的喷头板，形成上述复数个墨室的工序；在上述墨室间壁形成工序后，将上述衬底的一部分从与上述第1电极层的背面机械研削的除去工序；上述研削的除去工序后，进行蚀刻除去残余衬底的工序；上述蚀刻除去工序后，至少将上述第1电极层在对应于上述各墨室的位置上制图，形成上述复数个压电元件的工序。
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