[发明专利]探针痕迹读取装置和探针痕迹读取方法有效
| 申请号： | 200380100613.2 | 申请日： | 2003-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN1692486A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 茶谷博美;林尚久;小松茂和 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 该探针痕迹读取装置(1)，读取在半导体晶片(90)所包含的半导体芯片的电极上所形成的探针痕迹，包括：摄像该半导体晶片(90)，作为图像信号(Si)来输出的CCD照相机(20)；将该CCD照相机(20)所应该摄像的对象位置进行光学放大的光学部(21)；光源(30)，通过从提供闪光信号(Sf)的时刻开始仅短时间发光，来照明CCD照相机(20)应该摄像的对象位置；XY工作台(40)，基于马达控制信号(Sm)，向X方向和Y方向可移动地载置半导体晶片(90)，由此改变CCD照相机(20)摄像的对象；计算机(10)，控制它们，在接收所述图像信号(Si)并整理处理后保存该图像。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 痕迹 读取 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针痕迹读取装置(1)，在检查具有多个电极(92)的被检查体(91)的电特性时，用于读取在该电极上形成的探针痕迹(937)，该探针痕迹读取装置具有：在该多个电极内，照明摄像对象的电极的照明机构(30)；摄像机构(20)，在其摄像位置(20a)摄像由该照明机构照明的、该至少一个该电极的至少一部分，得到该电极的图像信息，这里，在该摄像机构上，在该摄像位置(20a)，仅在规定时间，至少一个该电极的像提供给该摄像机构；摄像对象位置变更机构(40)，用于将该多个电极中的成为摄像对象的至少一个电极顺序配置到摄像机构的该摄像位置；和存储该摄像机构得到的该图像信息的存储器(10a)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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