[发明专利]微致动器装置及使用了该装置的光开关系统

摘要

可动板(21)通过弹性部(27a、27b)被固定在基板(11)上，并且可以相对于基板(11)上下移动。基板(11)兼用作固定电极。可动板(21)具有：可以通过和基板(11)之间的电压而与基板(11)之间产生静电力的第二电极部(23a、23b)；以及被配置在磁场内通过通电产生洛伦兹力的电流路径(25)。进入及退出光路的反射镜(12)被设置在可动板(21)上。控制部，将可动板(21)从静电力增大的下侧位置向上侧位置移动时，对上述电流进行控制，以使在可动板(21)从中间位置向上侧位置移动的期间，向下生成上述洛伦兹力，且其逐渐减小。这样一来，不会产生高电压、不会对小型化产生破坏，可以扩大可动部的可动范围，且降低电力消耗，并且可以提高长期运转时的可靠性。

主权项

1.一种微致动器装置，具有微致动器、磁场生成部和控制部，其特征在于：上述微致动器具有固定部、和以可以相对于该固定部移动的方式设置的可动部，上述固定部具有第一电极部，上述可动部具有：通过和上述第一电极部之间的电压而与上述第一电极部之间产生静电力的第二电极部；及配置在磁场内通过通电产生洛伦兹力的电流路径，上述磁场生成部生成上述磁场，上述可动部被设置为：在上述静电力增大的第一位置和上述静电力降低或者消失的第二位置之间移动，并且生成要回复到上述第二位置的回复力，上述电流路径被设置为：在从上述第一位置向上述第二位置的方向及其反方向上生成洛伦兹力，上述控制部控制上述第一及第二电极部之间的电压、及流过上述电流路径的电流，上述控制部，控制上述电流，在上述可动部从上述第一位置向上述第二位置移动时，以使在上述可动部至少从上述第一位置和上述第二位置之间的中途向上述第二位置附近移动的期间，在从上述第二位置向上述第一位置的方向上生成上述洛伦兹力且其逐渐减小。