[发明专利]回收溅射靶中废组分的方法无效
| 申请号： | 200380101307.0 | 申请日： | 2003-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN1703531A | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·A·迈卡卢克;罗伯特·B·福德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C01B6/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种回收具有在背衬板上粘结的靶子的溅射靶组件中组分的方法。该方法包括分别将钽靶或铌靶氢化为氢化钽或氢化铌，及然后从背衬板中分离出氢化钽或氢化铌。进一步描述溅射靶及随后的方法步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 溅射 靶中废 组分 方法 | ||
【主权项】：
1.一种从包括粘结在背衬板上的钽或铌靶的溅射靶组件中回收组分的方法，其中所述方法包括分别使所述钽或铌靶氢化以形成氢化钽或氢化铌；及从所述背衬板中分离氢化钽或氢化铌。
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