[发明专利]金属箔的热量测量方法、表面特性的调整方法、激光穿孔方法以及热量测量装置无效

专利信息
申请号: 200380101383.1 申请日: 2003-10-27
公开(公告)号: CN1705876A 公开(公告)日: 2005-12-07
发明(设计)人: 坂本胜;新井英太;王江涛 申请(专利权)人: 株式会社日矿材料
主分类号: G01N25/18 分类号: G01N25/18;H05K3/00;B23K26/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 陆锦华;樊卫民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种金属箔之热量测量方法,对金属箔照射微量的激光,由金属箔的背面所设置的传感器来测量金属箔所吸收的热量;以及一种金属箔的热量测量装置,具备:内面具有光反射面的激光导入管、用以对该激光导入管的底部设置热量测量对象的金属箔的装置、以及与金属箔的背面密合而可测量热量的传感器。提供一种可测量金属箔的热量来高效率形成印刷电路基板的层间连接孔(贯通孔)、激光穿孔变得容易、可形成品质优异的稳定的小孔径层间连接孔的方法以及装置。
搜索关键词: 金属 热量 测量方法 表面 特性 调整 方法 激光 穿孔 以及 测量 装置
【主权项】:
1.一种金属箔的热量测量方法,其特征在于,对金属箔照射微量的激光,由金属箔的背面所设置的传感器来测量金属箔所吸收的热量。
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