[发明专利]用于输送晶圆状物件的装置及方法

摘要

本发明公开一用于处理晶圆状物件的设备，此设备包含至少一由复数个加工单元构成的线性排列阵列，所述复数个为至少两个，其中在各加工单元中可处理单一的晶圆状物件；一卡匣固持单元，其用于固持至少一内部储存有至少一晶圆状物件的卡匣；及一输送系统，其用于从一卡匣拾取一晶圆状物件且予以放入一个加工单元内。该设备包括一可移动式安装在一线性轨道上的输送单元。所述输送单元包括用于将一单一晶圆状物件固持在一平行于该线性轨道的基本上垂直的平面中的至少一个固持单元。

主权项

1.一种用于处理晶圆状物件的设备(1)，包括：1.1一由复数个加工单元(31，33)构成的线性排列阵列，所述复数个为至少两个，其中在各这种加工单元中可处理单一晶圆状物件(Wm)；1.2一卡匣固持单元(15)，其用于固持内部储存至少一个晶圆状物件的至少一个卡匣；1.3一输送系统，其用于从一卡匣拾取一晶圆状物件且将其放入一加工单元中；1.4该输送系统包括：1.4.1至少一线性轨道(26)，其与复数个加工单元(31，33)构成的该阵列平行排列，以使至少一个单一晶圆状物件沿着一平行于复数个加工单元的该阵列的线性路径而移动；1.4.2一输送单元(46)，其可移动地安装在所述至少一个线性轨道(26)中的每个上；所述输送单元包括用以在一平行于该线性轨道的大致垂直平面中固持单一晶圆状物件的至少一个固持构件(46a)。