[发明专利]提供前馈首要原则的制造控制方法及装置无效
| 申请号： | 200380101794.0 | 申请日： | 2003-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1705948A | 公开（公告）日： | 2005-12-07 |
| 发明（设计）人： | D·卡多什 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种方法，包括在制造系统(10)中处理工件，其中该制造系统包括多个工具。系选取有关该处理的工件制造数据。在该制造系统(10)中更进一步的处理系基于该工件制造数据而仿真，基于该仿真而预测该更进一步的处理的至少一个过程参数。该工件系以基于该预测的过程参数的至少一个工具(30)而进行过程。一种系统(10)，包括多个架构以处理工件的工具(30)以及仿真单元(110)。该仿真单元(110)系架构以选取有关该处理的工件制造数据、基于该工件制造数据而仿真该工件的更进一步处理、以及基于该仿真而预期该更进一步处理的至少一个过程参数，其中，至少一个工具(30)系架构以基于该预期的过程参数而对该工件进行过程。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 首要 原则 制造 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：在包括多个工具(10)的一制造系统(10)中处理一工件；接收有关该处理的工件制造数据；基于该工件制造数据而仿真在该制造系统(10)中的更进一步的处理；基于该仿真而预期该更进一步的处理的至少一个过程参数；以及基于该预期的过程参数而在至少一个该工具(30)中处理该工件。
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