[发明专利]强电介质膜、强电介质电容器、强电介质存储器、压电元件、半导体元件、强电介质膜的制造方法、和强电介质电容器的制造方法有效
申请号: | 200380101906.2 | 申请日: | 2003-10-23 |
公开(公告)号: | CN1706007A | 公开(公告)日: | 2005-12-07 |
发明(设计)人: | 木岛健;滨田泰彰;名取荣治;大桥幸司 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01B3/12 | 分类号: | H01B3/12;C01G25/00;C01G33/00;H01L27/10;H01L41/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种由AB1-XNbXO3的通式表示的氧化物形成的强电介质膜。A元素至少由Pb构成,B元素由Zr、Ti、V、W、Hf、和Ta中至少一中以上构成。并且,该强电介质膜在0.05≤x<1的范围内含有Nb。该强电介质膜也可用于1T1C、2T2C和单纯矩阵型强电介质存储器任一中。 | ||
搜索关键词: | 电介质 电容器 存储器 压电 元件 半导体 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种强电介质膜,由AB1-XNbXO3的通式表示,其中,A元素至少由Pb构成,B元素由Zr、Ti、V、W、Hf、和Ta中的至少一种以上构成,在0.05≤x<1的范围内含有Nb。
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