[发明专利]电气制造控制的概率约束优化有效
| 申请号： | 200380102331.6 | 申请日： | 2003-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN1708737A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | R·P·古德;G·A·谢里;J·王 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/66;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种方法，包括：定义一种用于制造装置的工艺模型，该工艺包括多个步骤。在该工艺步骤的至少一子集，定义多个内建工艺目标(inline process traget)；该模型将该内建工艺目标与多个工艺输出参数联系起来；界定该内建工艺目标用的第一组概率约束条件；界定该工艺输出参数用的第二组概率约束条件；依据该模型以及多个工艺输出参数界定一个目标函数；通过优化每一工艺步骤用的第一组和第二组概率约束条件的目标函数来确定该工艺输出参数的轨迹，以确定每一工艺步骤的内建工艺目标的数值，重复优化其余工艺步骤直到每一工艺步骤完成。 | ||
| 搜索关键词： | 电气 制造 控制 概率 约束 优化 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：界定制造装置用的工艺模型，该工艺包括多个步骤；为该工艺步骤的至少一子集，界定多个内建工艺目标，该模型将该内建工艺目标与多个工艺输出参数联系起来；界定该内建工艺目标用的第一组概率约束条件；界定该工艺输出参数用的第二组概率约束条件；依据该模型与该多个工艺输出参数，界定一目标函数；以及通过优化用于每一工艺步骤的该第一组和第二组概率约束条件的目标函数，确定该工艺输出参数的轨迹，以确定在每一工艺步骤的该内建工艺目标的数值，重复优化其余工艺步骤，直到每一工艺步骤完成。
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