[发明专利]抗蚀组合物

摘要

提供抗蚀组合物，该组合物易形成抗蚀图案，对F₂激基缔合物(excimer)激光等真空紫外线透明性、干蚀刻性能优良，且感光度、析像度、平坦性、耐热性等也良好。该抗蚀组合物的特征在于包括含氟聚合物(A)、受光照射产生酸的产酸化合物(B)以及有机溶剂(C)，该含氟聚合物(A)含有一个被保护基保护的酸性基，该保护基含有环烷基、有一个或多个环烷基的有机基、双环烷基等。

主权项

1.抗蚀组合物，其特征在于，包括含氟聚合物(A)、受光照射产生酸的产酸化合物(B)以及有机溶剂(C)，其中该含氟聚合物是有酸性基的含氟聚合物，该酸性基的一部分被式(1)所示的保护基保护， -CHR1-O-R2 (1)R1是氢原子或碳原子数小于等于3的烷基；R2是可带取代基的环烷基、有1个或1个以上该环烷基的1价有机基、可带取代基的具有2～4个环的交联环状饱和烃或具有该交联环状饱和烃的有机基。