[发明专利]负型感光性树脂组合物有效
申请号: | 200380102924.2 | 申请日: | 2003-10-31 |
公开(公告)号: | CN1711503A | 公开(公告)日: | 2005-12-21 |
发明(设计)人: | 高桥秀幸;石関健二 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;G03F7/027;G03F7/004 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沙永生 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 负型感光性树脂组合物,该组合物的特征是,包含具有酸性基团及分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键的可溶于碱的感光性树脂(A)、由具有聚合单元(b1)和聚合单元(b2)的聚合物形成的防油墨剂(B)及光聚合引发剂(C),聚合单元(b1)具有氢原子的至少1个被氟原子取代的碳原子数小于等于20的烷基(前述烷基中包括含有醚性氧的烷基),聚合单元(b2)具有乙烯性双键,防油墨剂(B)中的氟含量为5~25质量%,防油墨剂(B)在负型感光性树脂组合物的固形成分总量中的比例为0.01~20质量%。本发明的负型感光性树脂组合物具有良好的基材粘合性、防油墨性及其持续性,并且还有良好的碱溶解性和显像性。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1.负型感光性树脂组合物,其特征在于,包含具有酸性基团及分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键的可溶于碱的感光性树脂(A)、由具有聚合单元(b1)和聚合单元(b2)的聚合物形成的防油墨剂(B)及光聚合引发剂(C),聚合单元(b1)具有氢原子的至少1个被氟原子取代的碳原子数小于等于20的烷基(前述烷基中包括含有醚性氧的烷基),聚合单元(b2)具有乙烯性双键,防油墨剂(B)中的氟含量为5~25质量%,防油墨剂(B)在负型感光性树脂组合物的固形成分总量中的比例为0.01~20质量%。
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