[发明专利]负型感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 200380102924.2 申请日: 2003-10-31
公开(公告)号: CN1711503A 公开(公告)日: 2005-12-21
发明(设计)人: 高桥秀幸;石関健二 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 沙永生
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 负型感光性树脂组合物,该组合物的特征是,包含具有酸性基团及分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键的可溶于碱的感光性树脂(A)、由具有聚合单元(b1)和聚合单元(b2)的聚合物形成的防油墨剂(B)及光聚合引发剂(C),聚合单元(b1)具有氢原子的至少1个被氟原子取代的碳原子数小于等于20的烷基(前述烷基中包括含有醚性氧的烷基),聚合单元(b2)具有乙烯性双键,防油墨剂(B)中的氟含量为5~25质量%,防油墨剂(B)在负型感光性树脂组合物的固形成分总量中的比例为0.01~20质量%。本发明的负型感光性树脂组合物具有良好的基材粘合性、防油墨性及其持续性,并且还有良好的碱溶解性和显像性。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合
【主权项】:
1.负型感光性树脂组合物,其特征在于,包含具有酸性基团及分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键的可溶于碱的感光性树脂(A)、由具有聚合单元(b1)和聚合单元(b2)的聚合物形成的防油墨剂(B)及光聚合引发剂(C),聚合单元(b1)具有氢原子的至少1个被氟原子取代的碳原子数小于等于20的烷基(前述烷基中包括含有醚性氧的烷基),聚合单元(b2)具有乙烯性双键,防油墨剂(B)中的氟含量为5~25质量%,防油墨剂(B)在负型感光性树脂组合物的固形成分总量中的比例为0.01~20质量%。
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