[发明专利]电探针系统有效
| 申请号： | 200380103586.4 | 申请日： | 2003-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN1714297A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 石川重树;渡边诚 | 申请（专利权）人： | 日本发条株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郝庆芬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种电探针系统，具有固定被检测基板(10)的固定机构(2)和对于上述固定机构(2)可以定位的探针单元(3)，上述的探针单元(3)具有：在第一行程定义域(V1)以内，以规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第一焊点组(11k)弹性接触的第一探针组(5a)；在与上述第一行程定义域(V1)不同的第二行程定义域(V2)以内，以上述规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第二焊点组(11k)弹性接触的第二探针组(5b)；和植设上述第一和第二探针组(5a，5b)的探针固定架(3d)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 系统 | ||
【主权项】：
1.一种电探针系统，其特征在于，具有固定被检测基板(10)的固定机构(2)和对于上述固定机构(2)可以定位的探针单元(3)，上述的探针单元(3)具有：在第一行程定义域(V1)以内，以规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第一焊点组(11k)弹性接触的第一探针组(5a)；在与上述第一行程定义域(V1)不同的第二行程定义域(V2)以内，以上述规定范围(2ΔZ)的接触压可以与上述基板(10)的第二焊点组(11k)弹性接触的第二探针组(5b)；和植设上述第一和第二探针组(5a，5b)的探针固定架(3d)。
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