[发明专利]电阻加热舟皿及其制造方法无效
| 申请号： | 200380103851.9 | 申请日： | 2003-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1714167A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 郑在仁;林泰均 | 申请（专利权）人： | 浦项产业科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电阻加热舟皿，及其用于在电阻加热装置中将金属蒸发物真空蒸发沉积至底物上的制造方法。该舟皿包括一个成型为舟皿的石墨块和一个保护屏障，该保护屏障形成于石墨表面上，用于阻止石墨层与金属蒸发物反应。该保护屏障具有富铝层和含氮化合物层。根据本发明，可以实现金属(包括铝)的稳定连续的蒸发。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 加热 舟皿 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电阻加热舟皿，用于以电阻加热方式使金属蒸发物真空沉积至底物，该舟皿包括：待成型为舟皿的石墨块；和保护屏障，其形成于石墨表面上，用于阻止石墨层与金属蒸发物反应，其中保护屏障包括富铝化合物层和含氮化合物层。
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