[发明专利]丙烯酸系共聚物与辐射敏感性树脂组合物

摘要

本发明公开了有特定结构的丙烯酸系共聚物，通过使用这种共聚物，作为对放射线的透明性高且感度、分辨率、耐干蚀刻性、图形形状等作为抗蚀剂的基本物性好、尤其是形成接触孔与线－间隔时的抗蚀剂是非常优异的。

主权项

1.丙烯酸系其聚物，其特征在于含有下述式(1)、式(2)与式(3)表示的重复单元，式(2)中，R表示氢原子或甲基，R¹相互独立地表示氢原子、羟基、或-COOR³基，至少一个R¹不是氢原子，R³表示氢原子或C₁-C₄的直链或支链的烷基，或C₃-C₂₀的脂环式的烷基，式(3)中，R³相互独立地表示C₄-C₂₀的一价的脂环式烃基或其衍生物或C₁-C₄的直链或支链的烷基，且R²的至少1个是该脂环式烃基或其衍生物，或者任何2个R²相互结合、与各自结合的碳原子一起形成C₄-C₂₀的二价脂环式烃基或其衍生物，其余的R²表示C₁-C₄的直链或支链的烷基或C₄-C₂₀的一价脂环式烃基或其衍生物。