[发明专利]检测应力迁移性质的装置及方法有效
| 申请号： | 200380103956.4 | 申请日： | 2003-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN1714299A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | A·菲斯彻尔;A·冯格拉索;J·冯哈根 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号： | G01R31/316 | 分类号： | G01R31/316 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;梁永 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明是相关于一种用于检测一最终被设置在一产品相关壳体(G)中之半导体模块(IC)的应力迁移性质的装置以及方法，而有形成在该半导体模块(IC)中的一应力迁移测试结构(SMT)。为了增加该壳体(G)所造成之一应力σ装置(IH)乃会形成在该应力迁移测试结构(SMT)中、或是在其直接邻近处。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 应力 迁移 性质 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测一最终被设置在一产品相关壳体(G)中之半导体模块(IC)的应力迁移性质的装置，包括：一应力迁移测试结构(SMT)，是为了检测该应力迁移性质的目的而形成在该半导体模块(IC)中；以及一集成加热装置(IH)，是为了局部加热该应力迁移测试结构(SMT)的目的，而形成在该半导体模块(IC)中之该应力迁移测试结构(SMT)中、或是在其直接邻近处。
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