[发明专利]用于监视材料处理系统中的零件的方法和设备无效
| 申请号： | 200380104280.0 | 申请日： | 2003-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN1717637A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·E·克莱考特卡 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00;G06K19/07 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于监视材料处理系统(100)中的零件的改进的设备和方法，其中，该材料处理系统(100)包括处理设备、多个耦接到所述处理设备以产生和发射零件ID数据的RF响应零件标识器(190)，以及被配置为从所述多个RF响应零件标识器(190)接收所述零件ID数据的传感器接口组件(SIA)(180)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监视 材料 处理 系统 中的 零件 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种材料处理系统，包括：处理设备，其中该处理设备包括至少一个处理室；耦接到所述处理设备的多个RF响应零件标识器，RF响应零件标识器被配置为对所述处理设备生成零件ID数据，并发射所述零件ID数据；以及传感器接口组件(SIA)，其被配置为从至少一个RF响应零件标识器接收所述零件ID数据。
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