[发明专利]模板无效
| 申请号： | 200380104384.1 | 申请日： | 2003-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1717625A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李顺朴 | 申请（专利权）人： | 英根亚控股有限公司;英根亚技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 英属维尔京群*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | 一种模板，由包括衬底和位于衬底上的单相聚合物层的层状结构形成。聚合物层包括织构化的表面，该织构化由聚合物层中诱导的应力而引起。该模板可用于制造纳米尺度的结构，包括提供模板、以及向模板上模制材料、接着从模板上去除模制材料的步骤，从而提供纳米尺度的结构，如阵列、栅格、光学器件或电子器件。该模板可以通过包括下列步骤的方法制成：向衬底上沉积单相的聚合物层、在低于单相聚合物的玻璃转化温度(Tg)的温度下烘焙所得的结构，通过在聚合物层中诱导引力而织构化聚合物层的表面，以及对所得结构进行退火，从而提供模板。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 | ||
【主权项】：
1.一种模板，该模板由包括衬底和位于衬底上的单相聚合物层的层状结构形成，其中该聚合物层包括织构化的表面，所述织构化由聚合物层中诱导的应力引起。
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