[发明专利]平版印刷用冲洗液以及用其形成抗蚀图案的方法有效
| 申请号： | 200380104413.4 | 申请日： | 2003-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1717632A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 小林政一;市川洋之;山田善章;田中启一 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料(日本)株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;H01L21/027;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平版印刷用冲洗溶液以及一种使用这种冲洗溶液形成抗蚀图案的方法，其可以防止抗蚀图案的倾斜和剥落，并且高再现性地形成具有高纵横比的抗蚀图案。本发明的平版印刷用冲洗溶液包含水和具有乙烯氧基基团但没有氟原子的非离子表面活性剂。本发明的抗蚀形成方法包括在显影处理后，用该平版印刷用冲洗溶液冲洗该图案的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 平版印刷 冲洗 以及 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平版印刷用冲洗溶液，其特征在于：包含水和一种具有乙烯氧基基团(-CH2CH2O-)但不具有氟原子的非离子表面活性剂。
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