[发明专利]输送系统的输送位置对准方法

摘要

公开了在由多个装置(真空处理装置、负载锁定室、定位仪)组成的集束系统中，决定定义输送机构的拾取器件的向各装置的进出点的输送位置坐标的方法。(1)各输送机构的各拾取器件对各装置的输送位置坐标，以粗精度被临时决定。(2)确定第一输送机构的各拾取器件对位置对准装置的输送位置坐标。(3)确定第一及第二输送机构的各拾取器件的对位置对准装置以外的输送位置坐标的一部分的输送位置坐标。(4)位置对准用被输送物，经由通过1个被临时决定的未确定的输送位置坐标的输送路径，被输送到位置对准装置。求出被保持在位置对准装置上的位置对准用被输送物的位置偏差量被求出。根据该位置偏差量，修正所述输送位置坐标的1个，该被修正的输送位置坐标被确定为输送位置坐标。(5)在被临时决定的输送位置坐标全部被确定之前，反复进行(4)。

主权项

1.一种输送系统的输送位置对准方法，其特征在于，该输送系统具有：至少具有1个保持被输送物的拾取器件的第一输送机构；至少具有1个保持被输送物的拾取器件的第二输送机构；多个装置，可由所述第一和第二输送机构中的至少一个进出，在与进出的输送机构的拾取器件之间进行被输送物的交接；检测出载置的被输送物的中心位置的位置偏差量，可由所述第一输送机构进出的、作为所述多个装置之一的位置对准装置；可由所述第一及第二输送机构进出，而且，在所述第一及第二输送机构之间进行被输送物的交接时，暂时地保持该被输送物的、作为所述多个装置之一的第一中继装置；和可由所述第一及第二输送机构进出，而且，在所述第一及第二输送机构之间进行被输送物的交接时，暂时地保持该被输送物的、作为所述多个装置之一的第二中继装置，该输送位置对准方法包括：以粗的精度临时决定定义所述各输送机构的各拾取器件对所述多个装置的各个的进出点的输送位置坐标的临时决定工序；确定所述第一输送机构的各拾取器件对所述位置对准装置的输送位置坐标的第一确定工序；确定所述各输送机构的各拾取器件对所述位置对准装置以外的装置的输送位置坐标内的一部分的输送位置坐标的第二确定工序；将位置对准用被输送物，路经通过在所述临时决定工序中被临时决定的未确定的输送位置坐标中的1个的输送路径，输送到所述位置对准装置，求出保持在所述位置对准装置上的位置对准用被输送物的位置偏差量，根据该位置偏差量修正所述输送位置坐标中的1个，然后确定该修正过的输送位置坐标作为确定的输送位置坐标的第三确定工序；和在所述临时决定工序中被临时决定的未确定的输送位置坐标全部被确定之前，反复进行所述第三确定工序的第四确定工序。