[发明专利]光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。

主权项

1、一种光学照明装置，具有光源部，以提供直线偏振光，并以该光源部发出的光来照射被照射面，其特征在于该光学照明装置包括：偏振状态切换手段，配置在该光源部与该被照射面之间的光路中，使照明该被照射面的光的偏振状态，在特定偏振状态与非偏振状态之间切换，该偏振状态切换手段是架构成可自由地插脱于照明光路，且具备去偏振器，用以依据需求将入射的直线偏振光进行去偏振化。