[发明专利]源极区下面具有隐埋P型层的晶体管及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200380104488.2 申请日: 2003-10-02
公开(公告)号: CN1717811A 公开(公告)日: 2006-01-04
发明(设计)人: S·斯里拉姆 申请(专利权)人: 克里公司
主分类号: H01L29/812 分类号: H01L29/812
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 杨凯;张志醒
地址: 美国北卡*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供金属半导体场效应管(MESFET)的单元。MESFET的单元包括源极(13)、漏极(17)和栅极(24)。栅极(24)设置在源极(13)和漏极(17)之间,并在n型导电沟道层(18)上。P型导电区(14)设置在源极下面并且具有伸向所述漏极(17)的端部。P型导电区(14)与n型导电沟道区域(18)隔开并且在电气上连接到源极(13)。
搜索关键词: 源极区 下面 具有 晶体管 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种金属半导体场效应晶体管(MESFET)的单元,它包括:MESFET,它具有源极、漏极和栅极,所述栅极在所述源极和所述漏极之间,并在n型导电沟道层上;和p型导电区,它在所述源极的下面并且具有伸向所述漏极的端部,所述p型导电区与所述n型导电沟道层彼此隔开并在电气上连接到所述源极。
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