[发明专利]电路图案检查装置及电路图案检查方法

摘要

本发明的目的在于，提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段，本发明是在至少端部被配设为行状且基部相互连接的两组梳齿状导电图案的一端(15a)供给交流检查信号，并将另一端(15b)接地，检查以相互的行状导电图案部变得互异的方式配设而成的电路基板(10)的导电性图案的状态的电路图案检查装置，其特征在于：具备两个检测机构(20、30)，具有检测来自上述梳齿状导电图案(15a、15b)的信号的检测电极；并在与相互相同的上述行状导电图案成为电容耦合状态进行定位的状态，以横过行状导电图案的方式而利用标量机器人(80)使检测机构(20、30)移动，以上述两检测机构(20、30)的检测电位为基础可辨识行状图案部是否完好。

主权项

1.一种电路图案检查装置，其用于检查将多个末端部配设为行状且基端部相互连接的两组梳齿状导电图案以相互的末端部变得互异的方式配设而成的电路基板的导电性图案的状态，其特征为具备：两个检测机构，具有检测电极用以检测来自上述梳齿状导电图案的信号；检查信号供给机构，在上述梳齿状导电图案的一端供给交流检查信号；低电压控制机构，将上述梳齿状导电图案的另一端控制为至少比上述检查信号供给机构所供给的交流检查信号电位低的低电压电位；以及移动机构，在以离开指定距离且与上述末端部成为电容耦合状态的方式进行位置定位的状态，以横过上述末端部的方式使上述两个检测机构移动；且上述移动机构以横过供给上述检查信号中的末端部的基部侧与低电压电位的末端部的前端侧的方式使一端的检测机构移动，同时以横过控制在上述低电压电位中的末端部的基部侧与供给检查信号的末端部的前端侧的方式使另一端的检测机构移动，以来自上述各检测机构的检查信号为基础辨识上述梳齿状导电图案是否完好。