[发明专利]电路图案检查装置及电路图案检查方法有效
| 申请号： | 200380104631.8 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1720458A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 山冈秀嗣;羽森宽;石冈圣悟 | 申请（专利权）人： | OHT株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段，本发明是在检查至少端部配设为行状的检查对象图案时，在检查对象图案(15)的两端部边保持与图案离开指定距离的状态边以横过图案的方式使检查信号供给电极(35)与检查信号检测感测电极(25)移动，以同样与检查对象图案电容耦合的感测电极来检测从供给电极(35)通过电容耦合而供给检查对象图案(15)的检查信号，在检测信号值较指定范围小的情况，则判定为图案断线，而在检测信号值较指定范围大的情况，则判定为图案短路。 | ||
| 搜索关键词： | 电路 图案 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电路图案检查装置，其从检查对象区域的两端附近形成为行状的检查对象图案的上述检查对象区域的一端供给交流的检查信号，从另一端检测来自上述检查对象图案的信号以检查上述检查对象图案，其特征为具备：供给机构，具有供给电极用于从上述检查对象图案的检查对象区域的一端将上述检查信号供给上述检查对象图案；检测机构，具有检测电极用于检测来自上述检查对象图案的信号；以及移动机构，边使上述供给机构的供给电极与上述检测机构的检测电极从上述检测对象图案离开，边横过移动于上述检查对象区域的两端附近的行状图案部。
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