[发明专利]超声波清洗装置及超声波清洗方法无效
| 申请号： | 200380105324.1 | 申请日： | 2003-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN1723091A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 柴野美雪;奥野秦;榊原正人 | 申请（专利权）人： | 株式会社星团;东京系统开发株式会社;爱信AW株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了在对清洗物进行超声波清洗时实现清洗物向清洗槽出入的高效化同时防止装置在垂直尺寸上变得大型化的超声波清洗技术。在清洗槽(2)的侧壁上设置入口(6)与出口(7)，入口(6)与出口(7)具有开闭自如的门(6h、7h)，从上游的移送通路(3)移送来的清洗物(载体(8))从入口(6)投入后，用门(6h)堵住而密闭，将在贮存槽内除气了的清洗液导入清洗槽(2)内对清洗物进行超声波清洗。其后，清洗槽(2)内清洗液返回贮存槽，打开出口(7)的门(7h)，从出口(7)通过下游的移送通路(4)，向侧方排出清洗物(载体(8))。然后，反复进行该操作。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超声波清洗装置，通过向容纳着被除气的清洗液的清洗槽内放入清洗物从而旨在对清洗物进行超声波清洗，其特征在于，用于将清洗物投入清洗槽内和将清洗物排出清洗槽的入口与出口设置在前述清洗槽的侧壁上，这些入口与出口设置有可关闭的门，清洗物移送机构设置在这些入口与出口的附近，所述清洗物移送机构从清洗槽的侧方将清洗物投入清洗槽内并朝着清洗槽的侧方将清洗槽内的清洗物排出，并且前述清洗槽内的清洗液可由清洗液注入/排出机构被注入到清洗槽内和从清洗槽排出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社星团;东京系统开发株式会社;爱信AW株式会社，未经株式会社星团;东京系统开发株式会社;爱信AW株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200380105324.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
